• банер 8

Гелієвий компресор: використання в напівпровідниковій та дослідницькій галузях промисловості

Гелій – унікальний та цінний газ. Як другий найлегший елемент та найінертніша речовина з відомих, він відіграє вирішальну роль у деяких найсучасніших технологіях на планеті. Гелієвий компресор – абоКомпресор He— це обладнання, яке дозволяє циркулювати, переробляти та подавати цей газ під точним тиском у напівпровідниковій, медичній та науково-дослідній галузях.

Чому гелій має значення

Гелій має кілька властивостей, які роблять його незамінним у високотехнологічних застосуваннях. Його теплопровідність надзвичайно висока, що робить його ідеальним охолоджувачем. Він залишається газоподібним за температур, коли всі інші речовини замерзли, тому він охолоджує надпровідні магніти в апаратах МРТ та прискорювачах частинок. Він хімічно інертний, тому ніколи не реагує з технологічними матеріалами. А оскільки це найлегший інертний газ, він є кращим вибором для виявлення витоків у герметичних системах.

Проблема полягає в тому, що гелій – це обмежений ресурс, який видобувається переважно з родовищ природного газу. Після потрапляння в атмосферу він виходить у космос і фактично втрачається назавжди. Ця нестача робить ефективне відновлення та переробку гелію пріоритетним завданням, а гелієвий компресор є центральним елементом цих систем.

Виробництво напівпровідників

У виробництві напівпровідників гелій відіграє важливу роль у регулюванні температури. Під час обробки пластини гелій циркулює за пластиною для відведення тепла, підтримуючи точний контроль температури під час плазмового травлення та осадження. Чистота гелію повинна бути надзвичайно високою, оскільки будь-яке забруднення може призвести до дефектів у вироблених мікросхемах.

Гелієвий компресор на заводі з виробництва напівпровідників повинен виробляти надчистий газ без вмісту олії за стабільного тиску. Навіть мікросекундні коливання тиску можуть впливати на однорідність процесу та вихід продукції. Технологія діафрагмових компресорів з герметичним ущільненням та безмасляною конструкцією забезпечує рівень чистоти та стабільності, необхідний для цих застосувань.

Наукові дослідження та медична візуалізація

Апарати МРТ використовують рідкий гелій для підтримки кріогенних температур надпровідних магнітів близько 4 Кельвінів. Компресор для рекуперації гелію захоплює википлений газ, повторно стискає його та повертає до системи зрідження. Такий замкнутий підхід значно знижує споживання гелію та експлуатаційні витрати.

У дослідженнях фізики елементарних частинок гелій використовується в кріогенних системах охолодження для магнітів прискорювачів та детекторів. Гелієві компресори в цих установках повинні працювати з винятковою надійністю, оскільки будь-який простій може затримати дорогі експериментальні програми.

Гелієвий компресорМіркування щодо проектування

Оскільки гелій є одноатомним газом і має набагато вищу швидкість звуку, ніж інші гази, динаміка клапанів компресора та шляхи потоку газу повинні бути спеціально оптимізовані для роботи з гелієм. Стандартні конструкції для повітря або азоту не будуть ефективно працювати з гелієм. Компресор також повинен бути абсолютно герметичним, враховуючи схильність гелію виходити через найменші отвори та його високу вартість на одиницю об'єму.

Досвід роботи з гелієвим компресором Huayan

Маючи п'ятдесят років досвіду в компресорній техніці, компанія Huayan набула необхідного досвіду для проектування гелієвих компресорів, що відповідають високим вимогам напівпровідникової та дослідницької галузі. Кожен гелієвий компресор розробляється та виготовляється незалежно на власному заводі площею 91 000 квадратних метрів, з можливістю індивідуального налаштування конфігурацій для різних швидкостей потоку, тиску та рівнів чистоти гелію. Глобальний досвід Huayan, що обслуговує клієнтів у понад п'ятдесяти країнах, гарантує, що кожен компресор виготовлений відповідно до найвищих стандартів чистоти, надійності та продуктивності.

To discuss helium compression for your application, contact Huayan at mail@huayanmail.com or call +86 15150006570.


Час публікації: 18 липня 2026 р.